随着对尺寸更小的电子设备的需求不断增长,对半导体制造工艺中所使用压缩空气、工艺气体和水须保持最高纯度标准的要求也越来越高。
除了用于工艺设备的使用点过滤和进口处空气过滤以外,半导体制造还要求对大宗气体、空气和水进行高效过滤,以便满足严格的纯度要求。